微电子科研实验室表面处理新选择：真空等离子设备选型与工艺指南
在进行实验室级等离子清洗设备选型时，研究人员需要综合考虑以下维度：首先是腔体容积与样品尺寸的匹配性，5至30升的容积范围能够覆盖大多数微电子科研样品的处理需求；其次是气路系统的灵活性，多路气源控制为不同材料…
2026-06-29
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